纳米加工平台拥有10000平方米超净实验室、300余台套大型设备，具备MEMS、光电子、功率器件、生物芯片及异质异构集成等芯片的研发与产品开发能力。平台提供技术咨询、微纳加工和专业培训，支持用户自主操作与自主研发。同时，平台与企业、高校联合攻关，构建“产、学、研、检”创新合作模式。研究涵盖（超）宽禁带半导体、自旋电子学、二维材料、光电子器件、光子集成芯片及集成微系统等领域。

Nano Fabrication Facility (NFF) features a 10,000 m² cleanroom and 300+ large equipment units, enabling R&D in MEMS, optoelectronics, power devices, biochips, and heterogeneous integration. NFF offers technical consulting, micro/nano processing, and training for user-operated R&D. Research covers wide-bandgap semiconductors, spintronics, 2D materials, photonic ICs, and heterogeneous microsystems. Full-process capabilities from epitaxy to packaging support MEMS, optical, power/RF, magnetic/2D, flexible/bio devices, and integrated chips for AI, IoT, 5G, and automotive electronics.

展商信息

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台

公司地址：

江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号

公司网址：http://nff.sinano.ac.cn

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2026第四届西部半导体及集成电路产业博览会

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